特許
J-GLOBAL ID：200903081826490077
位置決めステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-016857
公開番号（公開出願番号）：特開2005-209997
出願日： 2004年01月26日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】 可動ステージ本体上に搭載していたバッテリを小型化または除去し、かつ電気ケーブルを使わずに非接触で、任意の可動ステージ本体位置または任意のタイミングで電力を給電する。【解決手段】 交流磁界を与えて非接触で電力を得るための受電コイルを備えた位置決めステージにおいて、電力を供給する送電コイルをベース構造体に複数個埋め込んで配置し、ステージの位置に応じて送電コイルを順次切り替える手段を設ける。ステージ上の受電コイルは、送電コイルと位相をずらして複数個配置し、交流磁界の周波数を、送電コイルと受電コイル間の相互インダクタンスと負荷とで決まる共振周波数に設定する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ベース構造体と、該ベース構造体の表面に沿って該ベース構造体に非接触で移動可能な可動ステージとを備えた位置決めステージ装置において、
前記ベース構造体の前記表面下に埋め込まれた複数個の送電コイルと、該表面に対向して前記可動ステージに取り付けられた受電コイルと、該可動ステージの位置に応じて該送電コイルを順次切り替える切り替え手段と、該送電コイルに該切り替え手段を介して交流電力を供給する給電手段とを有することを特徴とする位置決めステージ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC17
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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