特許
J-GLOBAL ID：200903017424390971
隔壁形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-159394
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352699
出願日： 1998年06月08日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 プラズマディスプレイ用の感光性組成物の現像処理に際して、パターンが崩れることなく、パターン部分は完全に現像され、非パターン部分は完全に除去されて高さと精度が十分なプラズマディスプレー用の隔壁の形成が可能な方法を提供する。【解決手段】 基板上に厚み15〜300ミクロンに塗布されてパターン状に露光された無機微粒子含有感光性組成物に、水またはアルカリ水溶液を加圧噴射して溶解残渣も噴射圧で除去しながら現像する工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレー用の隔壁形成方法。
請求項（抜粋）：
基板上に厚み10ミクロン以上に塗布されてパターン状に露光された無機微粒子含有感光性組成物に、水またはアルカリ水溶液を加圧噴射して現像する工程を含むことを特徴とする隔壁形成方法。
IPC (6件)：
G03F 7/30
, G03F 7/004 501
, G09F 9/30 324
, H01J 9/02
, H01J 11/02
, G02F 1/1333
G03F 7/30
, G03F 7/004 501
, G09F 9/30 324
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
, G02F 1/1333
