特許
J-GLOBAL ID：200903017451515514

機能性素子基板の製造装置及び機能性素子基板

発明者：
関谷 卓朗

関谷 卓朗 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-375394
公開番号（公開出願番号）：特開2003-178870
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：
【要約】【課題】 高品質、かつ高精度な機能性素子群及び機能性素子基板を形成するための機能性素子基板の製造装置を提供する。【解決手段】 製造装置は、機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドユニット11、基板14、基板位置決め/保持手段22、噴射ヘッドユニット11に液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、基板14における機能性素子群の形成面と、噴射ヘッドユニット11の溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、基板14と噴射ヘッドユニット11とが機能性素子群の形成面に対して平行にかつ互いに直交する2方向に相対移動を行うように構成される。噴射ヘッドユニット11は、前記情報入力手段により入力された液滴付与情報に基づき基板14の所望の位置に溶液を噴射する際に、機械的変位による作用力で溶液を噴射するとともに、溶液の噴射速度は、基板14と噴射ヘッドユニット11との相対移動速度より速くなるようにする。
請求項（抜粋）：
所定の駆動信号を入力することにより機能を発する機能性素子群が基板に形成されてなる機能性素子基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記機能性素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記機能性素子群の形成面に対して平行にかつ互いに直交する2方向に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の所望の位置に前記溶液を噴射することにより前記機能性素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドは、機械的変位による作用力で前記溶液を噴射するとともに、滴飛翔時の滴の形状を、前記基板面に付着する直前にほぼ丸い滴にする、もしくは飛翔方向に伸びた柱状であってその直径の3倍以内の長さにするとともに、飛翔滴後方に複数の微小な滴を伴わないようにしたことを特徴とする機能性素子基板の製造装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10 ,  H01L 21/027 ,  H05B 33/14
FI (3件)：
H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H01L 21/30 502 D
Fターム (4件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  5F046AA28
引用特許：
審査官引用 (10件)
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