特許
J-GLOBAL ID：200903078225086448
電子源基板の製造装置、電子源基板、該基板を用いた画像表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-031518
公開番号（公開出願番号）：特開2001-222945
出願日： 2000年02月09日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】【課題】 画像表示装置に適用可能な電子放出素子を、インクジェット法を用いて低コストかつ高精度に製造する。【解決手段】 電圧を印加することにより電子を放出し、その電子により蛍光体に可視光を発光させて表示する表示装置に適用される電子放出素子群を、インクジェット法を用いて製造する。吐出ヘッド11は、直交する2方向に移動するキャリッジ12に搭載され、吐出ヘッド11と基板14とは所定の距離が維持される。そしてキャリッジを走査しながら吐出ヘッドユニット11から導電性薄膜の材料を含有する液滴を噴射して、基板14上の所定位置に塗布し、基板14上に導電型電子放出素子群を形成する。液滴の噴射角度は、装置構成によっては、種々の角度を取り得るが、基板14と吐出ヘッドとの距離は、上記の噴射角度に応じて最適化される。
請求項（抜粋）：
所定の電圧を引加することにより電子を放出する導電性薄膜を有する電子放出素子群が基板に形成されてなる電子源基板の製造装置において、前記基板の保持位置決め手段もしくは保持位置調整機構を有する基板保持手段と、前記基板に相対する位置に配され、入力された液滴付与情報に基づいて前記基板に設けられた複数対の各素子電極間に前記導電性薄膜の材料を含有した溶液を噴射することにより前記導電性薄膜を形成する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに前記液滴付与情報を入力する情報入力手段と、前記噴射ヘッドを搭載して前記基板に相対する領域で直交する2方向に移動可能なキャリッジとを有し、該キャリッジは、前記噴射ヘッドの溶液噴射口面と前記基板の導電性薄膜の形成面とを一定の距離に維持して走査を行いながら前記溶液の噴射を行うことを特徴とする電子源基板の製造装置。
IPC (3件)：
H01J 9/02
, B05B 13/04
, B41J 3/407
H01J 9/02 E
, B05B 13/04
, B41J 3/00 F
2C062RA01
, 4F035AA03
, 4F035CD03
, 4F035CD05
