磁性薄膜およびこれを用いた磁気デバイス

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-240067
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223435
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】軟磁性薄膜の高飽和磁束密度化に伴う熱安定性、耐環境性の劣化および基板割れを抑制し、磁気ヘッドなど磁気デバイスに有用な信頼性の高い軟磁性薄膜を提供する。【解決手段】略柱状、略針状またはこれらの組み合わせから多枝形状の磁性結晶粒を母相とした磁性膜であって、略針状部または略柱状部の短手方向と長手方向の平均結晶サイズをそれぞれdS、dLが5nm<dS<100nm,dL>100nmの範囲となる磁性膜を含む薄膜をスパッタリング法などにより形成する。また、下地膜は平均粒径が20nm以下の微細磁性層が好ましい。

請求項（抜粋）：

平均体積Vaと平均表面積Saとが下記関係式を満たす磁性結晶粒を母相とする磁性膜を含む磁性薄膜。Sa>4.84Va2/3

IPC (3件)：

H01F 10/14 , C01G 49/00 , C22C 38/00 303

FI (3件)：

H01F 10/14 , C01G 49/00 Z , C22C 38/00 303 S

引用特許：

審査官引用 (29件)

磁性合金
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-047479 出願人：日本ビクター株式会社
軟磁性薄膜とこれを用いた磁気ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-320988 出願人：ソニー株式会社
特開平4-187745

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