感光性樹脂組成物及び積層体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鳴井義夫 , 清水猛 , 伊藤穣 , 武井英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-292465
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101940
出願日： 2005年10月05日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】 405±10nmの波長の露光光源に対する感度、解像度に優れ、テンティング性の良好な、アルカリ性水溶液によって現像しうる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂積層体、該感光性樹脂積層体を用いて基板上にレジストパターンを形成する方法、及び該レジストパターンの用途を提供する。【解決手段】 (a)α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含み、酸当量が100〜600で、重量平均分子量が5000〜500000である熱可塑性共重合体:20〜90%、(b)末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75%、(c)光重合開始剤:0.01〜30%、(d)特定のピラゾリン化合物:0.001〜10%を含有し、(b)付加重合性モノマーとしてアルキレンオキシド変性ビスフェノールAから誘導される(メタ)アクリレートを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含み、酸当量で100〜600であり、重量平均分子量が5000〜500000である熱可塑性共重合体:20〜90質量%、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75質量%、(c)光重合開始剤:0.01〜30質量%、(d)下記一般式(I)で示されるピラゾリン化合物:0.001〜10質量%を含有し、(b)付加重合性モノマーとして下記一般式(II)の構造を有する付加重合性モノマーを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/028 , G03F 7/004 , G03F 7/027 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (8件)：

G03F7/028 , G03F7/004 501 , G03F7/027 502 , G03F7/031 , G03F7/004 512 , G03F7/033 , H05K3/06 J , H05K3/18 D

Fターム (37件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC65 , 2H025BC83 , 2H025CA14 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB55 , 2H025CC20 , 2H025FA10 , 2H025FA17 , 5E339BC02 , 5E339BD11 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CE11 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD04 , 5E343BB24 , 5E343CC63 , 5E343DD32 , 5E343ER16 , 5E343ER18

引用特許：

出願人引用 (4件)

感光性樹脂積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-128586 出願人：旭化成株式会社
感光性樹脂組成物及び積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-019708 出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
光重合性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-001425 出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社

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審査官引用 (6件)

光重合性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-001425 出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
感光性樹脂組成物及び積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-019708 出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
特開昭55-075405

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