特許
J-GLOBAL ID:200903017587827005
半導体レーザ素子及びその製造方法、並びに半導体レーザ装置
発明者:
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,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
秋田 収喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-076698
公開番号(公開出願番号):特開2004-104073
出願日: 2003年03月20日
公開日(公表日): 2004年04月02日
要約:
【課題】コンタクト抵抗及び熱抵抗の低減と高信頼度とを両立した半導体レーザ素子を提供する。【解決手段】半導体基板と、前記半導体基板上に設けられた活性層と、前記活性層上に設けられたクラッド層及び前記クラッド層上に設けられたコンタクト層を有するリッジと、前記クラッド層の側面を覆う絶縁膜と、前記コンタクト層に接続された電極とを有し、前記絶縁膜は、前記リッジの厚さ方向における端部が前記コンタクト層の上面と下面との間に位置している。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられたクラッド層及び前記クラッド層上に設けられたコンタクト層を有するリッジと、
前記クラッド層の側面を覆う絶縁膜と、
前記コンタクト層に接続された電極とを有し、
前記絶縁膜は、前記リッジの厚さ方向における端部が前記コンタクト層の上面と下面との間に位置していることを特徴とする半導体レーザ素子。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (9件):
5F073AA11
, 5F073AA13
, 5F073AA53
, 5F073AA61
, 5F073CA15
, 5F073DA05
, 5F073DA25
, 5F073DA30
, 5F073EA28
引用特許:
出願人引用 (5件)
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半導体素子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-404035
出願人:ソニー株式会社
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半導体光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-280539
出願人:株式会社日立製作所, 日本電信電話株式会社
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半導体装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-399423
出願人:古河電気工業株式会社
-
特開平3-016288
-
半導体光機能素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-199322
出願人:沖電気工業株式会社
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審査官引用 (5件)
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半導体素子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-404035
出願人:ソニー株式会社
-
半導体光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-280539
出願人:株式会社日立製作所, 日本電信電話株式会社
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半導体装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-399423
出願人:古河電気工業株式会社
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特開平3-016288
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半導体光機能素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-199322
出願人:沖電気工業株式会社
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