故障検査装置及び方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山田卓二 , 田中光雄 , 川端純市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-216141
公開番号（公開出願番号）：特開2009-047645
出願日： 2007年08月22日
公開日（公表日）： 2009年03月05日
要約：

【課題】被検査回路の隣接信号線における信号変化の動的干渉によって論理値変化が生じる故障を従来技術に比較して高精度で検出する。【解決手段】複数の信号線を含む被検査回路の各信号線の故障を検査する故障検査装置において、上記被検査回路の検査対象の信号線において故障を仮定する故障信号線と、上記故障信号線から所定の範囲内にある少なくとも1つの隣接信号線との間のレイアウト情報、製造パラメータ情報及びタイミング情報に基づいて、上記故障信号線と上記各隣接信号線との間の所定の故障励起条件の適合結果を表す故障励起関数を用いて、上記故障信号線に関する故障励起関数の値を計算し、上記計算された故障励起関数の値に基づいて上記故障信号線において動的故障が励起したか否かを判断する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の信号線を含む被検査回路の各信号線の故障を検査する故障検査装置において、上記被検査回路の検査対象の信号線において故障を仮定する故障信号線と、上記故障信号線から所定の範囲内にある少なくとも1つの隣接信号線との間のレイアウト情報、製造パラメータ情報及びタイミング情報に基づいて、上記故障信号線と上記各隣接信号線との間の所定の故障励起条件の適合結果を表す故障励起関数を用いて、上記故障信号線に関する故障励起関数の値を計算し、上記計算された故障励起関数の値に基づいて上記故障信号線において動的故障が励起したか否かを判断する制御手段を備えたことを特徴とする故障検査装置。

IPC (1件)：

G01R 31/28

FI (1件)：

G01R31/28 F

Fターム (9件)：

2G132AA01 , 2G132AB01 , 2G132AC03 , 2G132AC09 , 2G132AD06 , 2G132AG01 , 2G132AG11 , 2G132AH07 , 2G132AL11

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平4-055776号公報。
LSIテストデータ生成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-357280 出願人：三菱電機株式会社
集積回路の故障診断装置及びその記録媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-122285 出願人：日本電気株式会社

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審査官引用 (4件)

特開平4-062487
特開平4-062487
集積回路のテスト容易化設計
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-095388 出願人：株式会社半導体理工学研究センター

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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