薄膜光電変換装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-242126
公開番号（公開出願番号）：特開平10-117006
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】光吸収効率の改善された薄膜光電変換装置を提供する。【解決手段】薄膜光電変換装置は、多結晶光電変換層(4)とその1主面を覆う金属薄膜(3)とを含み、多結晶光電変換層(4)は0.5〜20μmの範囲内の平均厚さを有し、多結晶光電変換層(4)の両主面の少なくとも一方は表面テクスチャ構造を有し、そのテクスチャ構造は多結晶光電変換層(4)の厚さの1/2より小さくかつ実質的に0.05〜3μmの範囲内の高低差を有する微細な凹凸を含んでいる。

請求項（抜粋）：

第1と第2の主面を有しかつ実質的に多結晶の光電変換層と、前記第2の主面を覆う金属薄膜とを含み、前記多結晶光電変換層は実質的に多結晶シリコン薄膜からなりかつ0.5〜20μmの範囲内の平均厚さを有し、少なくとも前記第1の主面は表面テクスチャ構造を有し、そのテクスチャ構造は前記平均厚さの1/2より小さくかつ実質的に0.05〜3μmの範囲内の高低差を有する微細な凹凸を含むことを特徴とする薄膜光電変換装置。

引用特許：

審査官引用 (13件)

光電変換装置作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-179181 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
太陽電池基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-264612 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-334069

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