特許
J-GLOBAL ID：200903017697066069

ウエーハの加工装置

発明者：
溝本 康隆

溝本 康隆 について

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山端 一郎

山端 一郎 について

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後藤 利光

後藤 利光 について

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泉田 昌典

泉田 昌典 について

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飯塚 勝則

飯塚 勝則 について

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保田 真治

保田 真治 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-396961
公開番号（公開出願番号）：特開2005-153090
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】ウエーハを研削手段によって研削するとともに、研削されたウエーハの加工面に適正な研磨加工を施す研磨手段を備えたウエーハの加工装置を提供する。【解決手段】回動可能に配設されたターンテーブル3と、ターンテーブルに配設されウエーハを保持するチャックテーブル4と、該ウエーハを研削する研削手段8、80と、該ウエーハの研削面を研磨する多目的研磨手段10とを具備している。多目的研磨手段は、研磨工具を着脱可能に装着するマウンターと、マウンターを回転せしめるスピンドルユニットと、スピンドルユニットをチャックテーブルの保持面に垂直な方向および保持面に平行な方向に移動可能に支持するスピンドルユニット支持手段と、スピンドルユニットを移動せしめる研磨送り手段とを具備している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
回動可能に配設されたターンテーブルと、該ターンテーブルに配設されウエーハを保持する保持面を備えた複数のチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、該チャックテーブルに保持され該研削手段によって研削されたウエーハの研削面を研磨する多目的研磨手段と、を具備し、 該多目的研磨手段は、研磨工具を着脱可能に装着するマウンターと、該マウンターを回転せしめるスピンドルユニットと、該スピンドルユニットを該チャックテーブルの該保持面に垂直な方向および該スピンドルユニットを該チャックテーブルの該保持面に平行な方向に移動可能に支持するスピンドルユニット支持手段と、該スピンドルユニットを該チャックテーブルの該保持面に対して垂直な方向に移動せしめる第1の研磨送り手段と、該スピンドルユニットを該チャックテーブルの該保持面に対して平行な方向に移動せしめる第2の研磨送り手段と、を具備している、 ことを特徴とするウエーハの加工装置。
IPC (3件)：
B24B37/04 ,  B24B7/24 ,  H01L21/304
FI (3件)：
B24B37/04 Z ,  B24B7/24 E ,  H01L21/304 621B
Fターム (10件)：
3C043BB00 ,  3C043CC04 ,  3C043CC12 ,  3C058AA07 ,  3C058AA14 ,  3C058AB03 ,  3C058AB08 ,  3C058CB08 ,  3C058DA17 ,  3C058DB07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (11件)
  • 研磨装置及びこれを含んだ研削・研磨機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-093398   出願人：株式会社ディスコ
  • 工作装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-193769   出願人：日特エンジニアリング株式会社
  • 研磨装置および研磨方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-068586   出願人：キヤノン株式会社
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