静電容量形圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020838
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210824
出願日： 1996年02月07日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】センサ感度の向上,および組立構造面での改良を図った静電容量形圧力センサを提供する。【解決手段】表面中央に可動電極部3bを形成したシリコンのダイアフラム3と、該ダイアフラムの可動電極部と微小ギャップを隔てた対向面に固定電極2bを形成してダイアフラムの周縁部上面に接合した固定電極基板2と、ダイアフラムを搭載してその周縁部下面に接合した基台1とで圧力センサを構成し、ダイアフラムを背面側から固定電極基板に向けて加圧する方向に測定圧力Pを加え、固定/可動電極間の静電容量変化を検出して圧力測定を行う。これにより初期容量に対する変化容量の値が高まってセンサ感度が向上する。また、固定電極はスルーホール2dを介して基板の上面側に引出し、一方、ダイアフラムと基台との間の接合半田5を基台側に引出して配線用のワイヤ6をボンディングする。

請求項（抜粋）：

表面中央に可動電極部を形成したシリコンのダイアフラムと、該ダイアフラムの可動電極部と微小ギャップを隔てた対向面に固定電極を形成してダイアフラムの周縁部上面に接合した固定電極基板と、ダイアフラムを搭載してその周縁部下面に接合した基台とからなり、ダイアフラムを背面側から固定電極基板に向けて加圧する方向に測定圧力を加え、固定/可動電極間の静電容量変化を検出して圧力測定を行うことを特徴とする静電容量形圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭60-233863
特開昭61-272623
特開平3-158731

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