特許
J-GLOBAL ID：200903017858968254
感光性エレメント、これを用いたレジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法及びリードフレームの製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287646
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330290
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 歩留り良く積層することができ、かつ剥離特性、ラミネート性、保存安定性及び作業性が極めて優れる感光性エレメント、レジストパターンの製造法並びにこのレジストパターンを有するプリント配線板又はリードフレームの製造法を提供する。【解決手段】 支持フィルム1(a)、感光性樹脂組成物層2(b)及び保護フィルム3(c)から成り、(b)が、(A)バインダーポリマー、(B)重合可能なエチレン性不飽和基の濃度が、(A)成分及び(B)成分の総量100gに対して、0.12〜0.26モルである光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤を含有してなり、保護フィルム(c)中に含まれる直径80μm以上のフィッシュアイ4の個数が、5個/m2以下とする。このエレメントを、回路形成用基板上に(D)が密着するように積層し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去する。
請求項（抜粋）：
支持フィルム(a)、感光性樹脂組成物層(b)及び保護フィルム(c)から成る感光性エレメントにおいて、感光性樹脂組成物層(b)が、(A)バインダーポリマー、(B)重合可能なエチレン性不飽和基の濃度が、(A)成分及び(B)成分の総量100gに対して、0.12〜0.26モルである光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤を含有してなり、かつ、保護フィルム(c)中に含まれる直径80μm以上のフィッシュアイの個数が、5個/m2以下である感光性エレメント。
IPC (5件)：
G03F 7/11 501
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/032
, H05K 3/00
G03F 7/11 501
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/032
, H05K 3/00 F
2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC15
, 2H025BJ00
, 2H025CB43
, 2H025DA01
, 2H025DA40
, 2H025FA17
, 2H025FA40
, 2H025FA43
