ファイバーの製造方法、ファイバーを用いた、電子放出素子、電子源及び画像表示装置の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-189580
公開番号（公開出願番号）：特開2003-160321
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2003年06月03日
要約：

【要約】【課題】単位面積当たりの電子放出点を増やし、電流密度が高く、寿命が長く、作製が単純な方法を提供する。【解決手段】粒子生成室で生成された粒子を、キャリアガスとともに搬送管を通して配置室に導き、該配置室内のステージ上に設置された基板1上にノズルを通じて配置するガスデポジション法によって、触媒粒子4を、基板1上に形成した陰極電極3に配置し、該触媒粒子4を核として気相から炭素を主成分とするファイバー5を成長させる。

請求項（抜粋）：

粒子生成室で生成された粒子を、キャリアガスとともに搬送管を通して配置室に導き、該配置室内のステージ上に設置された基板上にノズルを通じて配置するガスデポジション法によって、触媒粒子を前記基板上に配置し、該触媒粒子を核として気相から炭素を主成分とするファイバーを成長させることを特徴とするファイバーの製造方法。

IPC (9件)：

C01B 31/02 101 , C01B 31/02 , B82B 3/00 , C01B 31/04 101 , D01F 9/127 , H01J 1/304 , H01J 9/02 ZNM , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (9件)：

C01B 31/02 101 F , C01B 31/02 101 Z , B82B 3/00 , C01B 31/04 101 Z , D01F 9/127 , H01J 9/02 ZNM B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 F

Fターム (52件)：

4G146AA02 , 4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AD02 , 4G146AD29 , 4G146BC08 , 4L037AT01 , 4L037AT05 , 4L037CS03 , 4L037CS04 , 4L037FA02 , 4L037FA04 , 4L037FA20 , 4L037PA05 , 4L037PA12 , 4L037PA28 , 4L037UA04 , 5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C036EE01 , 5C036EE14 , 5C036EE19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH11 , 5C127AA01 , 5C127BA09 , 5C127BA13 , 5C127BA15 , 5C127BB07 , 5C127BB08 , 5C127BB15 , 5C127CC12 , 5C127DD33 , 5C127DD34 , 5C127DD35 , 5C127EE02 , 5C127EE07 , 5C127EE15 , 5C135AA09 , 5C135AA13 , 5C135AB07 , 5C135AB08 , 5C135BB02 , 5C135GG12 , 5C135GG13 , 5C135GG14 , 5C135HH02 , 5C135HH07 , 5C135HH15

引用特許：

審査官引用 (9件)

カーボンナノチューブの製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-008461 出願人：キヤノン株式会社
カーボンナノチューブの製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-161292 出願人：キヤノン株式会社
炭素系超微細冷陰極及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-301259 出願人：日本真空技術株式会社

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