ウエーハキャリア

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019132
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223554
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】蓋体を開けることなくウエーハの収納状態を検知する。【解決手段】開閉自在な蓋体4を有し、内部にウエーハWを収納するウエーハキャリア1であって、ウエーハWを検知するウエーハ検知手段7をウエーハキャリア1内に設けた。

請求項（抜粋）：

開閉自在な蓋体を有し、内部にウエーハを収納するウエーハキャリアであって、前記ウエーハを検知するウエーハ検知手段が前記ウエーハキャリア内に設けられ、前記蓋体が閉じている際にも前記キャリア外から前記ウエーハの存在を検知できることを特徴とするウエーハキャリア。

Fターム (8件)：

5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA08 , 5F031EA06 , 5F031JA02 , 5F031JA08 , 5F031JA19 , 5F031JA23

引用特許：

審査官引用 (5件)

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