特許
J-GLOBAL ID：200903017887702212
ダイヤモンド紫外線センサー素子
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-329253
公開番号（公開出願番号）：特開2007-139424
出願日： 2005年11月14日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】従来の光伝導型センサー素子は、極微弱光に対する光誘起電流量の変化は極めて小さいものであった。【解決手段】受光部材料の光誘起電流の変化によって、受光部に照射される光を検出する光伝導型センサー素子であって、主たるキャリアが正孔である表面伝導層を持つ高温高圧合成法によって作製された実質的に窒素原子を含むダイヤモンド単結晶を受光部に持つダイヤモンド紫外線センサー。本発明の紫外線センサーは、ダイヤモンド半導体の水素化表面の特殊性と表面近傍のダイヤモンド内にある窒素、ボロン、又はボロン-窒素複合体の不純物準位を介した光励起生成キャリアの電気伝導に基づくセンシング機構を持っている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
受光部材料の光誘起電流の変化によって、受光部に照射される光を検出する2端子電極を
持つ光伝導型センサー素子であって、
主たるキャリアが正孔である表面伝導層を持つ高温高圧合成法によって作製された窒素原
子を含むダイヤモンド単結晶を受光部に持つダイヤモンド紫外線センサー素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2G065AA04
, 2G065AB05
, 2G065BA02
, 5F088AA11
, 5F088AB02
, 5F088BB06
, 5F088DA05
, 5F088DA17
, 5F088FA05
, 5F088LA05
出願人引用 (3件)
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特公昭59-27754(特許第272929)号公報
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ダイヤモンド膜紫外線センサ及びセンサアレイ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-052548
出願人：株式会社神戸製鋼所, 浜松ホトニクス株式会社
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光導電型受光素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-259682
出願人：株式会社クボタ
審査官引用 (1件)
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