レーザ発振器とそれを用いた光散乱式粒子検出器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335331
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141587
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】励起用レーザ光が戻り光として半導体レーザに入射することに起因するレーザ光の強度のゆらぎを低減することによって、粒子検出における信号対雑音比を十分高くし、比較的小さい粒径の粒子を正確に検出できる光散乱式粒子検出器を提供する。【解決手段】励起用レーザ光Leを放射する半導体レーザ11の光軸11aと、励起用レーザ光Leにより励起してレーザ光Laを放射するレーザ媒質13の光軸13aとの間に所定の角度θを設けたレーザ発振器1を用い、このレーザ発振器1が放射するレーザ光Laを試料流体が形成する流路2に集光させて粒子検出領域8を形成し、この粒子検出領域8に含まれる粒子をレーザ光Laにより生じる散乱光Lsを受光部3で受光し検出する。

請求項（抜粋）：

半導体レーザが放射する励起用レーザ光を集光レンズでレーザ媒質に集光させ、このレーザ媒質を励起させてレーザ光を放射するレーザ発振器において、前記半導体レーザの光軸と前記レーザ媒質の光軸との間に所定の角度を設けることを特徴とするレーザ発振器。

IPC (3件)：

H01S 3/094 , G01N 15/14 , H01S 3/00

FI (3件)：

G01N 15/14 P , H01S 3/00 F , H01S 3/094 S

Fターム (5件)：

5F072AB20 , 5F072JJ05 , 5F072KK06 , 5F072PP07 , 5F072YY20

引用特許：

審査官引用 (7件)

固体レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-243276 出願人：三洋電機株式会社
半導体レーザ励起固体レーザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-163614 出願人：富士写真フイルム株式会社
縦方向ポンピングレーザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-118038 出願人：アドラスゲーエムベーハーウントコーカーゲー

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