特許
J-GLOBAL ID：200903017993391250
共焦点型三次元計測装置及び高さ計測方法
出願人/特許権者：
三菱電機株式会社
三菱電機株式会社 について
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-028360
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239216
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 共焦点光学系を用いた三次元計測装置において、被計測物体を移動させることなく、高速,高精度に三次元計測可能な手段を提供する。【構成】 共焦点光学系を用いた三次元計測装置において、一対のピンホール6と受光量検出器7を光軸方向に移動させ、受光量検出器7の受光量が最大となる光路長と予め設定された光路長と受光量の対応関係を示す特性から被計測物体1の高さを演算するものである。
請求項（抜粋）：
照明光を集束して被計測物体に照射すると共にその被計測物体からの反射光を集光する集光レンズと、その集光レンズによって集光された反射光を集束する結像レンズと、その結像レンズによって集束された反射光をピンホールを介して受光しその受光量を検出する受光量検出器と、上記集光レンズから上記ピンホールまでの光路長を可変にする光路長可変手段と、複数の異なる光路長に対応した上記受光量検出器によって検出された受光量と予め設定された光路長に対応した受光量の特性とに基づいて上記被計測物体の光軸方向の高さを演算する高さ演算器と、上記被計測物体と照明光の集束位置を光軸と垂直方向に相対的に移動させる集束位置移動手段とを備えた共焦点型三次元計測装置。
IPC (3件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
-
光学式非接触厚み測定装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平3-195782 出願人：精電舎電子工業株式会社 -
光学式間隔センサ
公報種別：公開公報 出願番号：特願平4-248620 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト -
立体形状測定装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平3-235239 出願人：興和株式会社
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved