ポジ型レジスト組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿形明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086913
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273929
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【構成】 (A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)キノンジアジド基含有化合物とを、(C)(イ)2-オキシロプロピオン酸アルキルと(ロ)温度20°Cにおける粘度が1センチポアズ以下の有機溶剤と場合により用いられる(ハ)炭化水素系有機溶剤との混合溶剤に溶解して成るポジ型レジスト組成物である。【効果】塗膜性、保存安定性、ステップカバレッジ性に優れ、かつ安全性にも優れたポジ型レジスト組成物であって、電子部品材料製造などに好適に用いられる。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)キノンジアジド基含有化合物とを、(C)(イ)2-オキシプロピオン酸アルキルと(ロ)温度20°Cにおける粘度が1センチポアズ以下の有機溶剤との混合溶剤に溶解して成るポジ型レジスト組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平3-107165
特開昭62-036657
特開平1-293340

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