特許
J-GLOBAL ID：200903018058988687
マイクロ構造体、マイクロ力学量センサ、マイクロアクチュエータ、マイクロ光偏向器、光走査型ディスプレイ、及びそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-279383
公開番号（公開出願番号）：特開2002-321197
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2002年11月05日
要約：
【要約】【課題】揺動体の平面に対して垂直、平行方向へ撓みにくいトーションスプリングで揺動自由に支持された揺動体を有するマイクロ構造体である。【解決手段】基板120と平板状の揺動体130を有し、揺動体130がトーションスプリング128、129によって基板120に弾性的に揺動自由に支持されているマイクロ構造体である。トーションスプリング128、129は、その長軸に垂直な面の断面形状の少なくとも一部が、平板状の揺動体130の平面に対して傾斜している。
請求項（抜粋）：
基板と、少なくとも一つ以上の平板状の揺動体を有し、前記揺動体が1本以上のトーションスプリングによって前記基板に対して弾性的に揺動自由に支持されているマイクロ構造体において、前記トーションスプリングは、その長軸に垂直な面の断面形状の少なくとも一部が、前記平板状の揺動体の平面に対して傾斜していることを特徴とするマイクロ構造体。
IPC (7件)：
B81B 3/00
, B81B 1/00
, B81C 1/00
, G02B 5/18
, G02B 7/182
, G02B 26/08
, G02B 26/10 104
B81B 3/00
, B81B 1/00
, B81C 1/00
, G02B 5/18
, G02B 26/08 E
, G02B 26/10 104 Z
, G02B 7/18 Z
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC04
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
, 2H043AE16
, 2H043AE18
, 2H043BB05
, 2H043BC08
, 2H045AB06
, 2H045AB10
, 2H045AB16
, 2H045AB73
, 2H049AA06
, 2H049AA37
, 2H049AA44
, 2H049AA50
, 2H049AA68
, 2H049AA69
