特許
J-GLOBAL ID：200903018060238512
静電容量型加速度センサおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-188628
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028912
出願日： 2002年06月27日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】製造が容易で且つ高感度化が容易な静電容量型加速度センサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】重り部21と、支持基板1の一表面側に固着され重り部21を規定方向に変位可能とするばね部22を介して重り部21を支持する一組の支持部23,23と、重り部21の両側において支持基板1の上記一表面側に固着され上記規定方向が厚さ方向となるように列設された複数の薄板状の固定電極24bを有する櫛形状の固定電極部24と、隣り合う固定電極24b,24b間の櫛溝24cに1つずつ入り込み上記規定方向へ変位可能となるように重り部21に設けられた複数の薄板状の可動電極21aとを備える。重り部21、ばね部22、支持部23、固定電極24b、固定電極部24、可動電極21aは、支持基板1に固着した単結晶のシリコン基板をエッチング加工することにより形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
支持基板と、支持基板の一表面側において支持基板から離間して配置された重り部と、支持基板の前記一表面側に固着され前記一表面に沿って重り部を規定方向に変位可能とするばね部を介して重り部を支持する少なくとも一組の支持部と、重り部の側方において支持基板の前記一表面側に固着され前記規定方向が厚さ方向となるように列設された複数の薄板状の固定電極を有する櫛形状の固定電極部と、隣り合う固定電極間の櫛溝に1つずつ入り込み前記規定方向へ変位可能となるように重り部に設けられた複数の薄板状の可動電極とを備え、加速度を前記規定方向への重り部の変位に応じた固定電極と可動電極との間の静電容量値の変化として検出する静電容量型加速度センサであって、支持基板の一表面側に固着した半導体基板に対して表面に直交する方向に貫通させる垂直エッチングを利用して前記重り部、前記ばね部、前記固定電極、前記固定電極部、および前記可動電極が形成されてなることを特徴とする静電容量型加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA05
, 4M112DA08
, 4M112DA10
, 4M112DA11
, 4M112DA12
, 4M112DA15
, 4M112DA16
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112EA04
, 4M112EA06
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112FA01
, 4M112FA20
