特許
J-GLOBAL ID：200903018247135032

等位相縞の位相状態解析方法

発明者：
植木 伸明

植木 伸明 について


出願人/特許権者：
富士写真光機株式会社

富士写真光機株式会社 について


代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-328633
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155051
出願日： 1998年11月18日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【目的】縞情報が存在しない分離帯により複数個に分割された観察領域を有する被検体の位相状態を解析する方法において、位相アンラッピング処理が施された位相分布において、縞情報が存在しない領域に対応する部分にマスキング処理を施すことにより、観察領域における位相状態解析の精度向上を図る。【構成】まず、分離帯によって複数の観察領域に分割された被検面に対し、4ステップの縞走査を行う(S1)。次に、縞走査により得られた4つの干渉縞強度から被検面の位相分布を求める(S2)。この位相分布は-πからπの間に畳み込まれているので、位相アンラッピング手法を用いて位相アンラッピングを行い、連続する位相分布を求める(S3)。次に、連続位相分布において、分離帯に相当するモジュレーションが0の部分についてマスキング処理を行う(S4)。最後に、マスキング処理を施された連続位相分布に対し最小二乗法を用いて傾き補正を行う(S5)。
請求項（抜粋）：
縞情報が存在しない分離帯と、この分離帯により複数個に分割され、該分離帯を挟んで互いに隣接する領域端部の位相差が、観察される等位相縞で1/2縞よりも小さい縞情報値を有する観察領域とからなる被検体の縞情報を取り込み、前記観察領域に前記分離帯を含めて前記被検体の縞情報に基づく位相計算を行ない、次いで、該位相計算により位相ラッピングされた位相分布の位相アンラッピング処理を行ない、該位相アンラッピング処理が施された位相分布において、前記縞情報が存在しない分離帯に対応する部分にマスキング処理を施すことを特徴とする等位相縞の位相状態解析方法。
IPC (2件)：
G01J 9/02 ,  G01B 9/02
FI (2件)：
G01J 9/02 ,  G01B 9/02
Fターム (4件)：
2F064AA09 ,  2F064EE05 ,  2F064FF01 ,  2F064JJ01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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