振動センサ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊丹勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-297577
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107104
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】検出回路の構造が簡単となり、簡易に3次元方向の加速度を検出することができるとともに、速度、変位等の他の力学量も計測することができる振動センサを提供する。【構成】加速度の印加によりベースBに対し質量部1 ́が振動するよう、質量部1 ́はマイクロマシニング技術により形成されたビーム部26により支持されている。質量部1 ́には光源21からの光を変調させるメインスケール25が設けられている。一方、ベースBに対して固定的に配置された基板2には、光源21と、インデックススケール22と、複数の受光素子を配列して構成された受光素子アレイ24とが設けられている。

請求項（抜粋）：

固定部と、加速度の印加により該固定部に対し相対的に振動可能に構成される振動部と、光束を出射する光源と、この光束を変調させるための回折格子と、複数の受光素子を配列して構成され前記回折格子からの光束を受光する受光素子アレイとを備え、前記光源、前記回折格子又は前記受光素子アレイのうちの少なくとも1つは前記振動部に設けられ、残りのものは前記固定部に設けられたことを特徴とする振動センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/093 , G01P 15/18 , H01L 29/84

FI (3件)：

H01L 29/84 Z , G01P 15/08 A , G01P 15/00 K

Fターム (15件)：

4M112AA02 , 4M112AA06 , 4M112BA10 , 4M112CA24 , 4M112CA25 , 4M112CA35 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA06 , 4M112DA12 , 4M112EA03 , 4M112EA05 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA13

引用特許：

審査官引用 (5件)

加速度・角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-184549 出願人：株式会社ミツトヨ
光学装置、光スキャン装置、加速度検出装置、圧力検出装置、及び画像検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-084932 出願人：オムロン株式会社
加速度計およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-339244 出願人：株式会社共和電業

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