特許
J-GLOBAL ID：200903018505388820

セラミックス基板、圧電アクチュエータ基板、圧電アクチュエータおよびこれらの製造方法

発明者：
半田 真一

半田 真一 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


代理人 (1件)： 深井 敏和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-131830
公開番号（公開出願番号）：特開2004-349688
出願日： 2004年04月27日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：
【課題】薄型であっても反りやうねりの発生が抑制され、低い焼成温度で製造できるセラミック基板、安定した圧電特性を備えた圧電アクチュエータ基板および圧電アクチュエータ、並びにこれらの製造方法を提供することである。【解決手段】セラミックス原料粉末を主成分とするグリーンシート12,13,14を複数積層した厚みが100μm以下の積層体17を焼成して得られ、積層体17には、平均粒径2μm以下の導電性物質を主成分とし焼成時にグリーンシート12,13,14よりも表面に平行な方向に対して大きい収縮率を有する高収縮層15,16が、積層体17の厚み方向の断面において、積層体17の厚みの1/2の位置を通りかつ積層体17の表面に平行な線に関して線対称となるように、グリーンシート12,13,14と積層されて配置されている圧電アクチュエータ基板17、並びにこの圧電アクチュエータ基板17の一方の表面に個別電極18が形成された圧電アクチュエータ11である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
セラミックス原料粉末を主成分とするグリーンシートを複数積層した厚みが100μm以下の積層体を焼成して得られるセラミックス基板であって、前記積層体には、平均粒径2μm以下の導電性物質を主成分とし焼成時に前記グリーンシートよりも表面に平行な方向に対して大きい収縮率を有する高収縮層が、前記積層体の厚み方向の断面において、前記積層体の厚みの1/2の位置を通りかつ前記積層体の表面に平行な線に関して線対称となるように、前記グリーンシートと積層されて配置されていることを特徴とするセラミックス基板。
IPC (7件)：
H01L41/083 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24
FI (10件)：
H01L41/08 S ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 Q ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/08 N ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C
Fターム (8件)：
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG48 ,  2C057AP16 ,  2C057AP24 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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