積層圧電体、アクチュエータ及び印刷ヘッド

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-087261
公開番号（公開出願番号）：特開2004-146774
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】焼成後の積層体の変形を防止し、一枚の素子内のd定数の面内バラツキが±10%以下であり、変位制御が容易な積層圧電体及びアクチュエータを提供する。【解決手段】複数の圧電セラミック層の積層体と、該積層体の表面及び/又は内部に設けられた電極とを具備し、厚みが100μm以下の積層圧電体において、前記電極が、銀を71〜99.9体積%及びパラジウムを0.1〜30体積%の割合で含む銀パラジウム合金であることを特徴とし、特に前記電極が銀を87体積%以上含む銀パラジウム合金からなり、内部に発生する残留応力の大きさが100MPa以下であることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の圧電セラミック層の積層体と、該積層体の表面及び/又は内部に設けられた電極とを具備し、厚みが100μm以下の積層圧電体において、前記電極が、銀を71〜99.9体積%及びパラジウムを0.1〜30体積%の割合で含む銀パラジウム合金であることを特徴とする積層圧電体。

IPC (5件)：

H01L41/083 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , H01L41/187

FI (7件)：

H01L41/08 Q , H01L41/08 S , H01L41/08 N , H01L41/18 101C , H01L41/18 101D , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H

Fターム (5件)：

2C057AF93 , 2C057AP02 , 2C057AP16 , 2C057BA04 , 2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (11件)

圧電発音体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-186266 出願人：太陽誘電株式会社
インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-050274 出願人：株式会社リコー
積層型圧電トランス
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-116473 出願人：日本電気株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

セラミック手帳, 19720110, p.75
セラミック工学ハンドブック, 20020331, 第2版, p.1054-1054

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