特許
J-GLOBAL ID:200903018569538272

複合構造物形成方法、調製粒子、および複合構造物形成システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 日向寺 雅彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-053493
公開番号(公開出願番号):特開2009-242942
出願日: 2009年03月06日
公開日(公表日): 2009年10月22日
要約:
【課題】本発明の態様は、エアロゾル中の微粒子濃度をより安定させることができ、かつ安定した状態を長時間にわたり維持することができる複合構造物形成方法、調製粒子、および複合構造物形成システムを提供する。【解決手段】本発明の一態様によれば、脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に向けて噴射することにより前記脆性材料微粒子の構成材料からなる構造物を基材上に形成させるエアロゾルデポジション法による複合構造物形成方法であって、前記脆性材料微粒子を含む複数の粒子を固めた集合体である調製粒子を複数、収容機構に収容し、前記収容機構から前記調製粒子をエアロゾル化機構に供給し、前記エアロゾル化機構において前記供給された前記調製粒子を解砕してエアロゾルを形成し、前記エアロゾルを基材に向けて噴射することにより前記構造物と前記基材との複合構造物を形成すること、を特徴とする複合構造物形成方法が提供される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に向けて噴射することにより前記脆性材料微粒子の構成材料からなる構造物を基材上に形成させるエアロゾルデポジション法による複合構造物形成方法であって、前記脆性材料微粒子を含む複数の粒子を固めた集合体である調製粒子を複数、収容機構に収容し、 前記収容機構から前記調製粒子をエアロゾル化機構に供給し、 前記エアロゾル化機構において前記供給された前記調製粒子を解砕してエアロゾルを形成し、 前記エアロゾルを基材に向けて噴射することにより前記構造物と前記基材との複合構造物を形成すること、を特徴とする複合構造物形成方法。
IPC (2件):
C23C 24/04 ,  B05B 7/14
FI (2件):
C23C24/04 ,  B05B7/14
Fターム (19件):
4F033QA01 ,  4F033QB05 ,  4F033QB13Y ,  4F033QD03 ,  4F033QD11 ,  4F033QD18 ,  4F033QE05 ,  4F033QH10 ,  4K044BA11 ,  4K044BA12 ,  4K044BA13 ,  4K044BA17 ,  4K044BA18 ,  4K044BA19 ,  4K044BB11 ,  4K044CA23 ,  4K044CA27 ,  4K044CA29 ,  4K044CA71
引用特許:
審査官引用 (4件)
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