特許

J-GLOBAL ID：200903046844710360

エアロゾル発生装置、複合構造物作製装置及び複合構造物作製方法

発明者： 平岡 純治 ,  横山 達郎 ,  寺田 直哉 ,  明渡 純
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  東陶機器株式会社
代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-128592
公開番号（公開出願番号）：特開2006-219764
出願日： 2006年05月02日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：

【課題】 安定したエアロゾルを供給することができるエアロゾル発生装置及びそれを備えた複合構造物作製装置更にはエアロゾル発生方法と複合構造物作製方法を提供する。【解決手段】 粉体供給部22は粉体収納部21とエアロゾル化部23との間に回転テーブル60を配置し、この回転テーブル60の周縁部に形成した切欠き溝61と、この切欠き溝61の外周側面に沿って配置される半環状ガイド62とで形成される矩形溝63内に粉体収納部21から粉体を供給する。この矩形溝63に供給された粉体は回転テーブル60が回転することで、擦切り板64まで搬送される。搬送された溝63内の粉体が擦切り板64によって擦切られエアロゾル化部23へ供給される。尚、回転テーブル60の回転速度調整、もしくは溝63の幅、深さの寸法や形状を変えることでエアロゾル化部23への供給量が制御される。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

一次粒子が0.1〜5μmの脆性材料の微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に向けてノズルより噴出して、前記エアロゾルを前記基材表面に衝突させ、前記微粒子の構成材料からなる構造物を前記基材上に形成させる複合構造物作製装置に用いるエアロゾル発生装置であって、このエアロゾル発生装置は微粒子を収容する粉体収容部と、この粉体収容部からの微粒子を定量供給する粉体供給部と、ガスの導入管及びエアロゾルの導出管に直接接続され、前記ガスの導入管からのガスで前記粉体供給部からの微粒子を前記エアロゾルの導出管より導出するエアロゾル化部とを備え、長時間、初期状態と同じ濃度でエアロゾルを発生させることができることを特徴とするエアロゾル発生装置。

IPC (1件)：

C23C 24/04

FI (1件)：

C23C24/04

Fターム (8件)：

4K044BA11 ,  4K044BA12 ,  4K044BB01 ,  4K044BB11 ,  4K044CA23 ,  4K044CA29 ,  4K044CA51 ,  4K044CA71

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 複合構造物の作製方法および作製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-310585   出願人：経済産業省産業技術総合研究所長, 東陶機器株式会社
• 粉末供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-105614   出願人：日本電子株式会社
• セラミック構造物作製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-169294   出願人：経済産業省産業技術総合研究所長, 東陶機器株式会社
• 複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-363926   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社

審査官引用 (4件)

• 粉体供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-122724   出願人：ソニー株式会社
• 研磨材供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-166377   出願人：株式会社アルプスエンジニアリング
• 粉粒体供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-344610   出願人：ソニー株式会社
• 複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-363926   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社