半導体ピエゾ抵抗センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-284978
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090231
出願日： 2000年09月20日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 1枚のみで単軸の応力の検出が可能な半導体ピエゾ抵抗センサを提供すること。【解決手段】基板1上に略直方体状に形成される半導体ピエゾ抵抗センサ3において、上記半導体ピエゾ抵抗センサの厚さ寸法Hを幅寸法Tで除したアスペクト比H/Tを“1”以上とした半導体ピエゾ抵抗センサ。

請求項（抜粋）：

基板上に略直方体状に形成される半導体ピエゾ抵抗センサにおいて、上記半導体ピエゾ抵抗センサの厚さ寸法を幅寸法で除したアスペクト比を1以上としたことを特徴とする半導体ピエゾ抵抗センサ。

IPC (2件)：

G01L 1/18 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 1/18 A , H01L 29/84 Z

Fターム (7件)：

4M112BA01 , 4M112CA49 , 4M112DA03 , 4M112DA06 , 4M112DA15 , 4M112EA04 , 4M112EA06

引用特許：

審査官引用 (4件)

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