積層型光導波路の製法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：西藤征彦 , 井▲崎▼ 愛佳 , 西藤優子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-215848
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033776
出願日： 2005年07月26日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】生産効率を向上させることができるとともに厚みむらを小さくすることができる積層型光導波路の製法を提供する。【解決手段】第1クラッド層12表面に第1コア層13を形成することにより第1光導波路部1を作製する工程と、第2クラッド層22表面に第2コア層23を形成することにより第2光導波路部2を作製する工程と、第1光導波路部1の第1クラッド層12表面と第2光導波路部2の第2クラッド層22表面とを対向させ、第1コア層13と第2コア層23とを対峙させた状態で、それら第1クラッド層12と第2クラッド層22との間に第3クラッド層3形成用材料を充填し第3クラッド層3を形成する工程とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1クラッド層表面に第1コア層を形成することにより第1光導波路部を作製する工程と、第2クラッド層表面に第2コア層を形成することにより第2光導波路部を作製する工程と、上記第1光導波路部の第1クラッド層表面と第2光導波路部の第2クラッド層表面とを対向させ、上記第1コア層と第2コア層とを対峙させた状態で、上記第1クラッド層と第2クラッド層との間に第3クラッド層形成用材料を充填し第3クラッド層を形成する工程とを備えていることを特徴とする積層型光導波路の製法。

IPC (2件)：

G02B 6/13 , G02B 6/122

FI (2件)：

G02B6/12 M , G02B6/12 A

Fターム (23件)：

2H147AB31 , 2H147BE12 , 2H147BE26 , 2H147CC13 , 2H147CD02 , 2H147CD11 , 2H147CD12 , 2H147EA13C , 2H147EA14C , 2H147EA17A , 2H147EA17B , 2H147EA17C , 2H147EA20B , 2H147EA43A , 2H147EA43B , 2H147FA17 , 2H147FA25 , 2H147FC03 , 2H147FD15 , 2H147FE02 , 2H147FF01 , 2H147FF06 , 2H147GA10

引用特許：

審査官引用 (5件)

双方向光通信モジュールおよび光導波路素子および双方向光通信モジュール装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-166206 出願人：株式会社リコー
光伝送路の形成方法及び光伝送路
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-078827 出願人：富士ゼロックス株式会社
特開平3-126928

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