高透明性を有するポリ(アミド酸-イミド)共重合体とそのポジ型感光性樹脂組成物およびその硬化膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-154344
公開番号（公開出願番号）：特開2005-336243
出願日： 2004年05月25日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】高透明性を有するポリ(アミド酸-イミド)共重合体と感光剤からなるポジ型感光性組成物および、これを露光・現像して微細加工を施した後、イミド化反応せしめて得られ、低誘電率、低熱膨張係数、高ガラス転移温度、且つ十分な靭性を併せ持つ実用上有益なポリイミド膜微細パターンの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】式(1)【化1】(式中、Aは二価の芳香族基あるいは脂肪族基を表し、Bは四価の芳香族基あるいは脂肪族基を表し、Xは0.1〜0.95の範囲である。)で表される、ポリイミド前駆体(ポリアミド酸)とポリイミドからなるポリ(アミド酸-イミド)共重合体の膜中に、ジアゾナフトキノン系感光剤を含有して成る感光性樹脂組成物を用い、上記感光性樹脂組成物膜を露光・アルカリ現像後、加熱あるいは脱水環化試薬を用いて得られる、ポリイミド膜の微細パターンの製造方法。

請求項（抜粋）：

式(1)で表される、ポリイミド前駆体(ポリアミド酸)とポリイミドからなる共重合体即ち、ポリ(アミド酸-イミド)共重合体。

IPC (3件)：

C08G73/10 , G03F7/023 , G03F7/037

FI (3件)：

C08G73/10 , G03F7/023 , G03F7/037 501

Fターム (49件)：

2H025AA00 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BJ09 , 2H025CB23 , 2H025CB25 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB57 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J043PA02 , 4J043PA19 , 4J043PC145 , 4J043PC146 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA05 , 4J043RA35 , 4J043RA37 , 4J043SA06 , 4J043SA39 , 4J043SA54 , 4J043SB01 , 4J043TA22 , 4J043TA70 , 4J043TB01 , 4J043UA022 , 4J043UA041 , 4J043UA131 , 4J043UA151 , 4J043UA171 , 4J043UA431 , 4J043UB051 , 4J043UB121 , 4J043VA021 , 4J043XA03 , 4J043XA16 , 4J043YA06 , 4J043ZA35 , 4J043ZA43 , 4J043ZA52 , 4J043ZB50

引用特許：

審査官引用 (7件)

イミド基含有ポリアミック酸およびその製造方法並びに液晶配向剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-343560 出願人：日本合成ゴム株式会社
ポリイミドおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-365806 出願人：セントラル硝子株式会社
特開平4-013724

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