特許
J-GLOBAL ID：200903018694672967
プロセスフロー変更システム及びプロセスフロー変更方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-022743
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223384
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】 修正内容の信頼性向上を可能にしたプロセスフロー変更システムを提供する。【解決手段】 プロセスフロー情報が記憶された記憶装置と、前記プロセスフロー情報に従って半導体装置の製造管理を行う第1の演算装置と、前記記憶装置中のプロセスフロー情報から所定のプロセスフロー情報を選択して読み出すフロー選択手段及び該フロー選択手段により読み出されたプロセスフロー情報を編集するフロー編集手段を有し、該フロー編集手段によって編集されたプロセスフロー情報を前記記憶装置に記憶させる第2の演算装置とを備えている。前記フロー選択手段は、前記第1の演算装置に対して、前記記憶装置中の所定のプロセスフロー情報が既に選択中の状態にあるか否かを問い合わせ、所定のプロセスフロー情報が既に選択中の状態にあるときは、その選択動作を禁止する。
請求項（抜粋）：
半導体装置の製造条件を表すプロセスフロー情報が記憶された記憶装置と、前記プロセスフロー情報に従って半導体装置の製造管理を行う第1の演算装置と、前記記憶装置中のプロセスフロー情報から所定のプロセスフロー情報を選択して読み出すフロー選択手段及び該フロー選択手段により読み出されたプロセスフロー情報を編集するフロー編集手段を有し、該フロー編集手段によって編集されたプロセスフロー情報を前記記憶装置に記憶させる第2の演算装置とを備え、前記第2の演算装置は、前記フロー編集手段による前記プロセスフロー情報の編集処理の態様に応じて、該プロセスフロー情報に識別子を付加する識別子付加手段を備え、前記第1の演算装置は、前記フロー編集手段によって編集されたプロセスフロー情報を、該プロセスフロー情報に付加された前記識別子を参照して前記記憶装置に記憶するための制御手段を備えたことを特徴とするプロセスフロー変更システム。
引用特許：
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