特許
J-GLOBAL ID:200903018703451618

複屈折測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 波多野 久 ,  関口 俊三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-174801
公開番号(公開出願番号):特開2004-020343
出願日: 2002年06月14日
公開日(公表日): 2004年01月22日
要約:
【課題】複屈折の大きさがλ/4以上を示したり、或いは強散乱体の性質を示したりする高分子材料等の被測定試料であっても、複屈折量及びその複屈折主軸の方位を比較的簡素な構成で測定できる複屈折測定装置を安価に提供する。【解決手段】複屈折測定装置は、光源1からの光信号(波長λ)を、光源側の偏光素子2を成す直線偏光子21及び四分の一波長板22、被測定試料OB,検出器側の偏光素子3を成す四分の一波長板31及び直線偏光子32を介して光検出器4にて検出する。その間、モータドライバ5により光源側の直線偏光子21及び四分の一波長板22が所定の回転比(1:2)を保ちつつ光軸回りに回転し、光検出器4にて検出される光信号がA/Dコンバータ6を介しPC7に取り込まれる。PC7は、その光信号の光強度に基づいて、被測定試料OBの複屈折量をその複屈折主軸の方位と共に正接関数で求まる測定範囲の精度(即ち、0〜λ/2)で演算する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光信号を発生する光源と、 前記光源からの光信号を所定の偏光状態に変化させながら被測定試料に入射させる光源側の偏光素子と、 前記被測定試料からの光信号を受ける受光側の偏光素子と、 前記受光側の偏光素子からの光信号を検出する光検出器と、 前記光検出器により前記光信号が検出される間、前記光源側の偏光素子の少なくとも一部を駆動することにより前記被測定試料に入射される光信号の偏光状態を制御する制御手段と、 前記光検出器により検出された光信号の光強度に基づいて、前記被測定試料の複屈折量をその複屈折主軸の方位と共に正接関数で求まる測定範囲の精度で演算する処理手段とを備えたことを特徴とする複屈折測定装置。
IPC (2件):
G01N21/23 ,  G01J4/04
FI (3件):
G01N21/23 ,  G01J4/04 A ,  G01J4/04 Z
Fターム (19件):
2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059EE04 ,  2G059EE05 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09
引用特許:
審査官引用 (2件)

前のページに戻る