特許

J-GLOBAL ID：200903018738776862

フォトリソグラフィー用ハイブリッド照明系

発明者： スチュアート スタントン ,  グレッグ ギャラティン ,  マーク オスコツキー ,  フリッツ ツェルニケ
出願人/特許権者： エスヴィージー リトグラフィー システムズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130360
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007940
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【課題】 フォトリソグラフィーにおけるレチクルに対する改良された照明系を提供する。【解決手段】 所望の照明視野形成場所の近隣にアレー光学素子が配置される。照明光源からの光は拡大されて、複数の2次照明光源を形成するマルチイメージ光学素子により受光される。これらの光源からの光は集光レンズにより受光される。集光レンズの焦点のところ、または近くに回折光学素子のアレーが配置されている。集光レンズの焦点に形成される照明面は回折光学素子のアレーの近視野回折パターン内にある。

請求項（抜粋）：

電磁放射光ビームを発生する照明光源と、前記照明光源からの電磁放射光を受光するマルチイメージ光学素子と、前記マルチイメージ光学素子からの電磁放射光ビームを受光し、電磁放射光の所定の射出角分布を供給するアレー光学素子を有し、前記照明光源からの電磁放射光が、レチクルの像を投影するための照明視野を形成するよう構成された照明系。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505

FI (3件)：

H01L 21/30 515 B ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 515 D

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-079677   出願人：株式会社トプコン, 株式会社東芝
• 照明光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-279939   出願人：株式会社ニコン
• 照明光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-019098   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-131370   出願人：日本電信電話株式会社

審査官引用 (4件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-079677   出願人：株式会社トプコン, 株式会社東芝
• 照明光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-279939   出願人：株式会社ニコン
• 照明光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-019098   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-131370   出願人：日本電信電話株式会社