特許
J-GLOBAL ID：200903018869734928

走査型形状測定装置、原子間力顕微鏡及びそれを用いた表面形状測定方法

発明者：
三保谷 拓史

三保谷 拓史 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (3件)： 前田 弘 ,  小山 廣毅 ,  竹内 祐二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-007592
公開番号（公開出願番号）：特開2005-201748
出願日： 2004年01月15日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】被測定物を精度よく測定できる原子間力顕微鏡(AFM)を提供する。【解決手段】粗測定用の第1探針1aと、精細測定用の第2探針2aと、被測定物の表面形状によって第1探針1a及び第2探針2aを使い分ける制御部と、を備え、各探針を被測定物の表面に沿って走査させてその上下変位により表面形状を測定するAFMであって、その制御部は、第1探針1aに被測定物全体の表面形状を測定させた後に、精細測定が必要な箇所を推定し、第2探針2aにその推定した精細測定必要箇所の表面形状を測定させるように構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
探針を被測定物の表面に沿って走査させてその上下変位により表面形状を測定する走査型形状測定装置であって、 粗測定用の第1探針と、精細測定用の第2探針と、を備えたことを特徴とする走査型形状測定装置。
IPC (2件)：
G01N13/16 ,  G01B21/30
FI (2件)：
G01N13/16 A ,  G01B21/30
Fターム (11件)：
2F069AA60 ,  2F069BB13 ,  2F069CC06 ,  2F069GG04 ,  2F069GG63 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34
引用特許：
出願人引用 (4件)
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