特許
J-GLOBAL ID：200903018977884804

搬送誤差計測方法、校正方法、描画方法、露光描画方法、描画装置及び露光描画装置

発明者：
福井 隆史

福井 隆史 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 千葉 剛宏 ,  宮寺 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-122877
公開番号（公開出願番号）：特開2006-301301
出願日： 2005年04月20日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】ワークの搬送に伴う蛇行やピッチング振動等による描画位置のずれを高精度に計測して、描画処理に反映させる。【解決手段】計測用ワーク36aを露光ヘッドに対して相対的に搬送する第1の搬送部100と、計測用ワーク36aに対して複数のテストパターン画像を露光ヘッドによって連続的に描画する第1の描画部102と、計測用ワーク36aに描画された複数のテストパターン画像の描画状態に基づいて少なくとも計測用ワーク36aの相対的な搬送誤差を計測する計測部104と、前記搬送誤差に基づいて、描画タイミングと画像の変形に関する情報を作成する補正部106と、正規のワーク36を露光ヘッドに対して相対的に搬送する第2の搬送部108と、正規のワーク36に対して描画すべき画像を、補正部106にて作成された情報に基づいて描画する第2の描画部110とを有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ワークが保持されたステージを描画部に対して相対的に搬送する搬送ステップと、 前記ワークに対して複数のテストパターン画像を前記描画部によって描画する描画ステップと、 前記ワークに描画された複数のテストパターン画像の描画状態に基づいて少なくとも前記ワークの相対的な搬送誤差を計測する計測ステップとを有する搬送誤差計測方法。
IPC (4件)：
G03F 7/20 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68
FI (5件)：
G03F7/20 501 ,  G03F9/00 A ,  H01L21/30 503A ,  H01L21/30 529 ,  H01L21/68 F
Fターム (23件)：
2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097BA10 ,  2H097CA17 ,  2H097KA18 ,  2H097LA09 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031HA53 ,  5F031JA04 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA37 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CC03 ,  5F046CC13 ,  5F046DA07 ,  5F046DB05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (10件)
  • 露光ヘッド及び露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-167410   出願人：富士写真フイルム株式会社
  • 画像形成装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-180613   出願人：富士写真フイルム株式会社
  • 画像プリンタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-179611   出願人：富士写真フイルム株式会社
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