特許
J-GLOBAL ID:200903019061954277

軸方位測定装置および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 祐司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-055638
公開番号(公開出願番号):特開2006-242617
出願日: 2005年03月01日
公開日(公表日): 2006年09月14日
要約:
【課題】 本発明の目的は偏光子や移相子などの試料の軸方位を正確に決定する方法および装置を提供することにある。【解決手段】 直線偏光素子を試料として、その透過軸方位を決定する軸方位測定装置10において、光照射手段12と、光照射手段12からの光を直線偏光として試料に照射する基準偏光子14と、試料を光軸を中心として回転する試料回転手段18と、試料を透過した光を検知する光検出手段20と、透過光強度が最小になる試料の方位角に基いて試料の透過軸方位を演算する軸方位演算手段26と、を備え、軸方位演算手段26は、試料の一方の面を基準偏光子14の一方の面に対向させたときの透過光強度が最小になる試料の表側方位角θ+と、試料を裏返して試料の基準偏光子14に対向する面を他方の面にしたときの透過光強度が最小になる裏側方位角θ-とに基いて、試料の透過軸方位を演算することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
直線偏光素子を試料として、該試料の透過軸方位を決定する軸方位測定装置において、 光照射手段と、 該光照射手段からの光を直線偏光として試料に照射する基準偏光子と、 該基準偏光子に対向して設置される試料を、光軸を中心として回転し試料の方位を変更する試料回転手段と、 前記試料を透過した光を検知する光検出手段と、 前記試料回転手段により試料を回転させたときの透過光強度が最小になる試料の方位角に基いて、試料の透過軸方位を演算する軸方位演算手段と、を備え、 前記軸方位演算手段は、前記試料の一方の面を前記基準偏光子に対向させたときの透過光強度が最小となる方位角θ+と、前記試料を裏返して試料の基準偏光子に対向する面を他方の面にしたときの透過光強度が最小になる方位角θ-とに基いて、試料の透過軸方位を演算することを特徴とする軸方位測定装置。
IPC (2件):
G01N 21/21 ,  G01M 11/00
FI (2件):
G01N21/21 Z ,  G01M11/00 T
Fターム (8件):
2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059EE05 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G086EE09
引用特許:
出願人引用 (7件)
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