静電チャック装置用シートおよび静電チャック装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-033359
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233604
出願日： 1998年02月16日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】信頼性が高く長寿命で、しかも製造コストが安い静電チャック装置用シート、および静電チャック装置を提供すること。【解決手段】シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂の1または2以上の樹脂からなる保護層が、吸着面に形成されてなることを特徴とする静電チャック装置により上記課題を解決した。

請求項（抜粋）：

シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂の1または2以上の樹脂からなる保護層が、吸着面に形成されてなることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-027748
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-000575 出願人：日新電機株式会社
特開平2-304946

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