特許
J-GLOBAL ID：200903019186653384
荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-367153
公開番号（公開出願番号）：特開2006-173035
出願日： 2004年12月20日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】 高分解能であって、走査領域(観察視野)の広い荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】 焦点を調整する手段と、非点を調整する手段45と、走査位置を制御・検出する手段と、走査位置に連動して、焦点調整と非点調整を同時に制御する手段とを設け、高分解能化と広領域な観察視野の確保とを両立する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を試料上に集束するための、対物レンズを含むレンズ系と、
前記荷電粒子線を試料上に走査するための偏向制御手段と、
前記対物レンズを制御して前記荷電粒子線の焦点位置を調整する焦点調整手段と、
前記荷電粒子線の非点収差を調整する非点収差調整手段と、
前記偏向制御手段による前記荷電粒子線の偏向位置又は偏向角と前記焦点調整手段による焦点調整値及び前記非点収差調整手段による非点収差調整値との関係を記憶した記憶手段と、
前記偏向制御手段、焦点調整手段、及び非点収差調整手段を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記偏向制御手段による前記荷電粒子線の偏向位置又は偏向角に連動して、前記記憶手段に記憶された関係に従って前記荷電粒子線が試料上に焦点を結ぶように前記焦点制御手段を制御し、かつ前記非点収差調整手段で非点の補正を行うこと特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/28
, H01J 37/153
, H01J 37/21
H01J37/28 B
, H01J37/153 B
, H01J37/21 B
5C033JJ01
, 5C033MM03
, 5C033UU02
出願人引用 (3件)
審査官引用 (7件)
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