特許

J-GLOBAL ID：200903084323117416

電子顕微鏡、電子顕微鏡の観察像記憶方法、電子顕微鏡の観察像記憶プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体

発明者： 古川 裕 ,  橘 和広
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (2件)： 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-324899
公開番号（公開出願番号）：特開2004-158366
出願日： 2002年11月08日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】同じ試料を異なる倍率で観察した観察像において、相互の関連付けや領域のマーキングを容易に行える電子顕微鏡等を提供する。【解決手段】電子顕微鏡は、複数の観察像を画像ファイルとして記憶可能であり、低倍率で試料を像観察した低倍率観察像aに、同じ試料を像観察した高倍率観察像Aの像観察領域情報Wを表示すると共に、同じ試料を低倍率で像観察を行った低倍率観察像aの画像ファイルと高倍率で像観察を行った高倍率観察像Aの画像ファイルとを、低倍率観察像aにおける高倍率観察像Aの像観察領域情報Wと共に関連付けて記憶するよう制御する。【選択図】 図14

請求項（抜粋）：

像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して電子線を試料に照射し、前記試料から放出される二次電子または反射電子を1以上の検出器で検出しながら試料表面の所望の領域を走査することで、観察像を結像し表示部に表示可能な電子顕微鏡であって、 試料を像観察した一の観察像と、前記観察像の少なくとも一部の領域を含む他の観察像とを記憶可能であって、かつ一の観察像が他の観察像上でいずれの位置にあるかを示す像観察領域情報を観察像と関連付けて記憶可能な記憶手段を備える電子顕微鏡。

IPC (1件)：

H01J37/22

FI (1件)：

H01J37/22 502A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 観察位置表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-059081   出願人：住友金属工業株式会社
• 走査形電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-306650   出願人：株式会社日立製作所
• 電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-260877   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ