電子ビームを用いた検査方法及び検査装置

発明者： , , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-212908
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051886
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】検査の高速化を図ることができる電子ビームを用いた検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】電子銃1からの電子ビーム36は対物レンズ9で収束され、試料13に与えられるリターディング電圧によって減速され、試料13は移動しながら電子ビームで走査され、試料13から発生した2次電子33はリターディング電圧により加速され、ほぼ平行ビームとなって、対物レンズ9と試料13との間に配置されたE×B偏向器18により偏向されて2次電子発生体19を照射し、2次電子発生体19から第2の2次電子20が発生して荷電粒子検出器21によって検出される。検出されたその出力信号は画像信号として記憶され、記憶された画像は演算部29及び欠陥判定部30で比較され、欠陥が判定される。

請求項（抜粋）：

電子ビームを発生し、その発生した電子ビームを対物レンズによって試料に収束し、その収束された電子ビームで前記試料を走査,偏向し、前記試料から発生した荷電粒子を前記対物レンズと前記試料との間から検出して電気信号に変換し、その電気信号を画像信号として記憶し、その記憶された画像信号を用いて画像比較を実行し、前記試料の欠陥を検出することを特徴とする電子ビームを用いた検査方法。

IPC (3件)：

G01N 23/225 , H01J 37/22 502 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 23/225 , H01J 37/22 502 H , H01L 21/66 J , H01L 21/66 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭54-067367
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-168403 出願人：日本電子株式会社
電子ビーム検査方法とそのシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-124951 出願人：日本ケー・エル・エー株式会社

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