特許

J-GLOBAL ID：200903019209174110

大型基板搬送装置及び搬送方法

発明者： 中島 洋一郎 ,  笹川 英四郎 ,  宮園 直之
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-366034
公開番号（公開出願番号）：特開2002-167036
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：

【要約】【課題】 大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、基板搬送ローラーの基板受け渡しステージでの基板受渡しの機構において、基板を傾斜安定角まで起立したり倒したりするとき、基板が基板保持機構に把持されている部分に荷重が集中してかからず、安定した動作で起立転倒可能な基板受渡す機構及び方法とすることを目的とする。【解決手段】 大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで基板を受け渡しする搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、基板搬送ローラーの基板受け渡しステージ位置にあるローラーフレームが他の基板搬送ローラー部と分離して傾斜安定角度まで起立し、搬送台車の基板保持機構に基板の受渡しをする可倒式基板受渡し機構を搬送ローラーに組み込んだことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで基板を受け渡しする搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、基板搬送ローラーの基板受け渡しステージ位置にあるローラーフレームが他の基板搬送ローラー部と分離して傾斜安定角度まで起立し、搬送台車の基板保持機構に基板の受渡しをする可倒式基板受渡し機構を搬送ローラーに組み込んだことを特徴とする大型基板搬送装置。

IPC (6件)：

B65G 49/06 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

B65G 49/06 Z ,  C23C 14/50 K ,  C23C 16/44 F ,  H01L 21/31 Z ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/302 B

Fターム (19件)：

4K029AA24 ,  4K029CA05 ,  4K029KA01 ,  4K029KA03 ,  4K030CA17 ,  4K030GA12 ,  4K030LA16 ,  5F004BC06 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA13 ,  5F031FA18 ,  5F031GA53 ,  5F031LA15 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F045EN04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 搬送装置及び真空処理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-351364   出願人：三菱重工業株式会社
• 基板搬送装置および基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-199935   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-171049   出願人：大日本スクリーン製造株式会社