特許
J-GLOBAL ID:200903019283745951
硬質皮膜およびその形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
梶 良之
, 須原 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-318312
公開番号(公開出願番号):特開2006-124818
出願日: 2004年11月01日
公開日(公表日): 2006年05月18日
要約:
【課題】 耐摩耗性および耐焼き付き性に優れる硬質皮膜とその形成方法を提供する。【解決手段】 (1) (XC , M1-C )(Ba Cb N1-a-b )からなる硬質皮膜であって、MはW、Vの1種以上、Xは4A、5A族、6A族の元素およびAl、Si、Fe、Co、Niの1種以上であり、式(1) 〜(4) 〔式(1):0.05≦a≦0.7 、式(2):0≦b≦0.5 、式(3):0<1-a-b、式(4):0≦c≦0.3 〕を満たすことを特徴とする硬質皮膜。但し、aはBの原子比、bはCの原子比、cはXの原子比である。(2) (XC , M1-C )(Ba Cb N1-a-b )からなる皮膜とB1-d-e Cd Ne からなる皮膜とを2層以上積層してなる硬質皮膜であって、MはW、V、Moの1種以上、Xは前記(1) の場合と同様であり、式(5) 〜(8) 及び式(9) 〜(10)〔式(5):0≦a≦0.7 、式(6) 〜(8):式(2) 〜(4) と同様、式(9) :0≦d≦0.25、式(10): (1-d-e)/e≦1.5 〕を満たすことを特徴とする硬質皮膜等。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(XC , M1-C )(Ba Cb N1-a-b )からなる硬質皮膜であって、MはW、Vの1種以上であり、Xは4A、5A族、6A族の元素およびAl、Si、Fe、Co、Niから選択される1種以上であると共に、下記の式(1) 〜(4) を満たすことを特徴とする硬質皮膜。
0.05≦a≦0.7 ----------------------式(1)
IPC (2件):
FI (2件):
C23C14/06 H
, C23C26/00 B
Fターム (21件):
4E093NB08
, 4E093NB09
, 4K029AA02
, 4K029BA54
, 4K029BA58
, 4K029BC02
, 4K029BD05
, 4K029CA04
, 4K029CA06
, 4K029DC03
, 4K029DD06
, 4K029EA01
, 4K029FA04
, 4K044AA01
, 4K044BA01
, 4K044BA02
, 4K044BA06
, 4K044BA10
, 4K044BB02
, 4K044BC01
, 4K044CA13
引用特許: