外観検査装置および外観検査方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：角田嘉宏 , 古川安航 , 西谷俊男 , 幅慶司 , 内山泉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-037910
公開番号（公開出願番号）：特開2005-227201
出願日： 2004年02月16日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることができる外観検査装置および外観検査方法を提供する。【解決手段】検査対象物Mの表面上に縞状の光パターンPを照射する照射手段2と、検査対象物Mの表面で反射した前記光パターンPを受光して画像情報3aに変換する撮影手段3と、該撮影手段3から得た画像情報3aに基づいて、検査対象物Mの一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出する第1算出手段400と、該第1演算手段400から得た前記形状情報に基づいて前記断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目に関する検査情報を算出する第2算出手段401と、該第2算出手段401から得た検査情報を、予め設定された判定基準値と比較することにより検査対象物Mの良否を判定する判定手段403とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象物の表面上に照射光を照射する照射手段と、検査対象物の表面で反射した前記照射光を受光して画像情報に変換する撮影手段と、該撮影手段から得た画像情報に基づいて、検査対象物の一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出する第1算出手段と、該第1演算手段から得た前記形状情報に基づいて前記断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目に関する検査情報を算出する第2算出手段と、該第2算出手段から得た前記検査情報を、予め設定された判定基準値と比較することにより、検査対象物の良否を判定する判定手段とを備える、外観検査装置。

IPC (2件)：

G01B11/24 , G01N21/956

FI (2件)：

G01B11/24 K , G01N21/956 B

Fターム (26件)：

2F065AA17 , 2F065AA48 , 2F065AA51 , 2F065AA58 , 2F065BB07 , 2F065CC01 , 2F065CC26 , 2F065FF04 , 2F065FF51 , 2F065GG04 , 2F065HH07 , 2F065PP12 , 2F065QQ06 , 2F065QQ08 , 2F065QQ25 , 2F065QQ31 , 2F065TT03 , 2G051AA65 , 2G051AB14 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA06 , 2G051EA12 , 2G051EB01 , 2G051ED21

引用特許：

出願人引用 (2件)

実装基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-246173 出願人：オムロン株式会社
はんだフィレットの形状計測装置および形状計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-115697 出願人：松下電工株式会社

審査官引用 (13件)

特開平4-055709
特開昭60-008707
検査装置の検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-165485 出願人：株式会社不二越

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