特許
J-GLOBAL ID：200903019454836616
圧電振動子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-195040
公開番号（公開出願番号）：特開2006-020001
出願日： 2004年06月30日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】 組み立て工程を簡略化して生産性を向上させることができる圧電振動子の製造方法を提供する。【解決手段】 マトリクス状に配列された複数個の基板領域を有する母基板を準備し、先の母基板の各基板領域に圧電振動子を搭載する工程Aと、前記基板領域と1対1に対応するカバー部材を、前記圧電振動子が封止されるようにして前記母基板上に載置し、スパッタリング方法によって封止接合する工程Bと、前記カバー部材の上面に形成されたスパッタリング面を被覆するように絶縁性樹脂を塗布する工程Cと、前記母基板及び前記絶縁性樹脂を各基板領域の外周に沿って一括的に切断することにより、複数個の圧電振動子を同時に得る工程Dとを経て圧電振動子を製造することにより課題を解決する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
マトリクス状に配列された複数個の基板領域を有する母基板を準備し、該母基板の各基板領域に圧電振動子を搭載する工程Aと、
前記基板領域と1対1に対応するカバー部材を、前記圧電振動子が封止されるようにして前記母基板上に載置し、スパッタリング方法によって封止接合する工程Bと、
前記カバー部材の上面に形成されたスパッタリング面を被覆するように絶縁性樹脂を塗布する工程Cと、
前記母基板及び前記絶縁性樹脂を各基板領域の外周に沿って一括的に切断することにより複数個の圧電振動子を同時に得る工程Dと、を含む圧電振動子の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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