特許

J-GLOBAL ID：200903019510317643

深紫外光を光源とする顕微鏡

発明者： 荻野 克美
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 林 恒徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-000818
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194591
出願日： 2000年01月06日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】深紫外を光源とした顕微鏡において、深紫外光による試料の損傷を制限する。【解決手段】観察対象に深紫外光を照射して観察データを取得する顕微鏡において、該観察対象の所定の位置に設けられたパターンの線幅を測定し、該パターンの線幅が所定の制限値に達した場合に、該観察対象への深紫外光の照射を停止する制御部を有することを特徴とする。本発明によれば、観察対象の所定の位置に設けられたパターンの線幅が所定の制限値に達した場合に、観察対象への深紫外光の照射を停止するので、観察対象が制限値以上に損傷を受けることを防止することができる。

請求項（抜粋）：

観察対象に深紫外光を照射して観察データを取得する顕微鏡において、該観察対象の所定の位置に設けられたパターンの線幅を測定し、該パターンの線幅が所定の制限値に達した場合に、該観察対象への深紫外光の照射を停止する制御部を有することを特徴とする顕微鏡。

IPC (6件)：

G02B 21/00 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/02 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/16 ,  G02B 21/36

FI (6件)：

G02B 21/00 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/02 H ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/16 ,  G02B 21/36

Fターム (37件)：

2F064MM04 ,  2F064MM45 ,  2F065AA22 ,  2F065AA54 ,  2F065AA56 ,  2F065CC19 ,  2F065DD15 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL25 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS13 ,  2H052AA08 ,  2H052AC02 ,  2H052AC04 ,  2H052AC07 ,  2H052AC12 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC28 ,  2H052AC34 ,  2H052AD34 ,  2H052AF03 ,  2H052AF13 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25

引用特許：

出願人引用 (4件)

• レ-ザ走査顕微鏡を用いた寸法測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-223673   出願人：シチズン時計株式会社
• 露光装置および該露光装置に用いられるマスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-076573   出願人：株式会社ニコン
• レーザ顕微鏡及び共焦点型レーザ走査顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-288979   出願人：株式会社ニコン
• 顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-247851   出願人：株式会社ニコン