穴検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-166551
公開番号（公開出願番号）：特開2002-358509
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】穴の検査を正確かつ効率的に行うことが可能な穴検査装置を提供する。【解決手段】欠陥候補領域抽出部12は、貫通孔(穴)を有するプリント基板4の撮像データを区分した各オブジェクトパターン区分領域が、位置的に対応するマスターパターンの領域との間に所定の許容範囲を越える相違部分を有しているか否かを判定することによって、当該各オブジェクトパターン区分領域のそれぞれが欠陥候補であるか否かを判定して欠陥候補領域を抽出する。さらに、欠陥判定部22は、複数のオブジェクトパターン区分領域のうち欠陥候補領域として抽出されたオブジェクトパターン区分領域に存在する貫通孔についての孔情報と、欠陥候補領域に対応するマスターパターンの領域内に存在する貫通孔についての孔情報との比較結果に基づいて、各貫通孔が欠陥であるか否かを判定する。

請求項（抜粋）：

被検査物に形成された複数の穴を検査する穴検査装置であって、複数の穴を有する被検査物を撮像してオブジェクトパターンデータを取得する撮像手段と、前記被検査物の理想状態を表すマスターパターンデータを記憶する記憶手段と、前記オブジェクトパターンデータを、所定の大きさを有する複数のオブジェクトパターン区分領域に区分する領域区分手段と、各オブジェクトパターン区分領域と当該各オブジェクトパターン区分領域に対応するマスターパターンデータとを比較することによって、当該各オブジェクトパターン区分領域のそれぞれが欠陥候補であるか否かを判定し、前記複数のオブジェクトパターン区分領域の中から欠陥候補領域を抽出する欠陥候補領域抽出手段と、前記複数のオブジェクトパターン区分領域のうち前記欠陥候補領域として抽出されたオブジェクトパターン区分領域に存在する穴についての第1の穴情報を求める第1取得手段と、前記欠陥候補領域として抽出されたオブジェクトパターン区分領域に対応するマスターパターンの領域内に存在する穴についての第2の穴情報を求める第2取得手段と、前記第1の穴情報と前記第2の穴情報とを比較し、その比較結果に基づいて、各穴が欠陥であるか否かを判定する欠陥判定手段と、を備えることを特徴とする穴検査装置。

IPC (6件)：

G06T 1/00 305 , G01B 11/00 , G01B 11/24 , G06T 7/00 300 , G06T 7/00 , H05K 3/00

FI (6件)：

G06T 1/00 305 A , G01B 11/00 H , G06T 7/00 300 B , G06T 7/00 300 E , H05K 3/00 S , G01B 11/24 K

Fターム (34件)：

2F065AA03 , 2F065AA52 , 2F065AA58 , 2F065CC01 , 2F065DD06 , 2F065FF02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ39 , 2F065RR05 , 5B057AA03 , 5B057BA11 , 5B057CA16 , 5B057CB16 , 5B057CH01 , 5B057CH11 , 5B057DA03 , 5B057DA08 , 5L096BA03 , 5L096BA18 , 5L096CA02 , 5L096EA45 , 5L096FA52 , 5L096FA59 , 5L096FA60 , 5L096FA69 , 5L096GA08 , 5L096GA28 , 5L096GA51 , 5L096HA07 , 5L096JA07 , 5L096JA09 , 5L096JA14 , 5L096LA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

パターン検査装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-023489 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
パターン欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-296448 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
スルーホール検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-225918 出願人：松下電器産業株式会社

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