特許
J-GLOBAL ID：200903019667037482
荷電粒子ビーム露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-356959
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186144
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 BAA露光装置で、BAAの開孔への信号伝送路の故障の発生を低減すると共に、故障が発生したこと及び故障箇所を容易に検出できるようにする。【解決手段】 BAA露光装置で、荷電粒子ビーム発生手段1と、荷電粒子ビームの光路中に配設され、荷電粒子ビームを整形する開孔33及び開孔の周囲に設けられた電極の組34,35 を2次元的に配列し、各電極に電圧信号を印加するかしないかにより荷電粒子ビームを整形するブラッキングアパチャーアレイ30と、各開孔の電極に印加する電圧信号を出力するブラッキングアパチャーアレイ駆動回路40と、ブラッキングアパチャーアレイ駆動回路40から出力される電圧信号を各開孔の電極に印加するための複数のチャンネルで構成されるブラッキングアパチャー信号伝送路と所定の直流レベルの電源線との間に設けられた抵抗83,84,85とを備える。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを使用して試料に所定の露光パターンを形成する荷電粒子ビーム露光装置であって、荷電粒子ビームを発生する荷電粒子ビーム発生手段と、該荷電粒子ビーム発生手段からの荷電粒子ビームの光路中に配設され、前記荷電粒子ビームを整形する開孔及び該開孔の周囲に設けられた電極の組を2次元的に配列し、各電極に電圧信号を印加するかしないかにより前記荷電粒子ビームを整形するブラッキングアパチャーアレイと、前記露光パターンに従って各開孔の電極に印加する電圧信号を出力するブラッキングアパチャーアレイ駆動回路と、該ブラッキングアパチャーアレイ駆動回路から出力される前記電圧信号を各開孔の電極に印加するための複数のチャンネルで構成されるブラッキングアパチャー信号伝送路と所定の直流レベルの電源線との間に設けられた抵抗とを備えることを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 541 R
, H01L 21/30 541 E
