特許
J-GLOBAL ID：200903019672583606
光学部材用合成石英ガラスおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-384424
公開番号（公開出願番号）：特開2003-183034
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】フッ素含有量の均一性に優れたフッ素含有合成石英ガラスを安定して作製する方法ならびに、屈折率均質性、耐光性および光透過性に優れたフッ素含有合成石英ガラスを得る。【解決手段】多孔質石英ガラスをOH基含有量を低減する工程における多孔質石英ガラスの平均かさ密度が1.6g/cm3以下、かつ多孔質石英ガラスの成長軸方向に垂直な断面において、外周から20mmを除いた領域内でのかさ密度の最大と最小の差がかさ密度の最大と最小との差が0.6g/cm3以下であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
波長155〜250nmの光を光源とする光学装置の光学部材として用いられる光学部材用合成石英ガラスの製造方法において、(a)ガラス形成原料を火炎加水分解して得られる石英ガラス微粒子を基材に堆積・成長させて多孔質石英ガラスを形成する工程と、(b)該多孔質石英ガラスのOH基含有量を低減する工程と、(c)該多孔質石英ガラスをフッ素化合物含有雰囲気下に保持し、該多孔質石英ガラスにフッ素をドープする工程と、(d)該多孔質石英ガラスを1300°C以上の温度に昇温して透明ガラス化し、フッ素を含有した透明石英ガラス体を得る工程と、を含み、工程(b)における多孔質石英ガラスの平均かさ密度が1.6g/cm3以下、かつ多孔質石英ガラスの成長軸方向に垂直な断面において、外周から20mmを除いた領域内でのかさ密度の最大と最小の差がかさ密度の最大と最小との差が0.6g/cm3以下であることを特徴とする光学部材用合成石英ガラスの製造方法。
IPC (3件)：
C03B 8/04
, C03B 20/00
, G02B 1/00
C03B 8/04 M
, C03B 8/04 P
, C03B 20/00 E
, C03B 20/00 F
, C03B 20/00 G
, G02B 1/00
4G014AH12
, 4G014AH15
, 4G014AH21
