超伝導放射線検出器とその製造方法とそれを用いた装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073855
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266856
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 1K以下の冷却が可能な冷却装置を用いて動作する超伝導放射線検出器において、試料表面の形状情報と組成分析を同時に行う超伝導放射線検出器を得ることである。また、そのための超伝導放射線検出器の作製方法とそれを用いた装置を得ることである。【解決手段】 1K以下の冷却が可能な冷却装置を用いて動作する超伝導放射線検出器において、1K以下で動作する超伝導放射線検出素子と走査型プローブ顕微鏡用探針1が一つのチップ上に作製されていることを特徴とする超伝導放射線検出器を用いた。

請求項（抜粋）：

1K以下の冷却が可能な冷却装置を用いて動作する超伝導放射線検出器において、1K以下で動作する超伝導放射線検出素子と走査型プローブ顕微鏡用探針が一つのチップ上に作製されていることを特徴とする超伝導放射線検出器。【請求項2 】 1K以下の冷却が可能な冷却装置を用いて動作する超伝導放射線検出器において、走査型プローブ顕微鏡用探針を作製する工程と、1K以下で動作する超伝導放射線検出素子を作製する工程からなることを特徴とする超伝導放射線検出器の作製方法。【請求項3 】 1K以下の冷却が可能な冷却装置を用いて動作する超伝導放射線検出器装置において、1K以下で動作する超伝導放射線検出素子と、走査型プローブ顕微鏡用の探針が一つのチップ上に作製されている超伝導放射線検出器と、超伝導放射線検出器を冷却する冷却機構と、超伝導放射線検出器と試料間の距離を調整する距離制御機構と、放射線の導入機構からなることを特徴とする超伝導放射線検出器を用いた装置。

IPC (3件)：

G01T 1/24 , G01N 13/16 , G01N 13/10

FI (3件)：

G01T 1/24 , G01N 37/00 G , G01N 37/00 X

Fターム (9件)：

2G088EE30 , 2G088FF03 , 2G088GG22 , 2G088GG23 , 2G088JJ01 , 2G088JJ09 , 2G088JJ23 , 2G088JJ25 , 2G088JJ37

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-227343
放射線検出器用ヘリウム3クライオスタットおよび分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-105786 出願人：新日本製鐵株式会社
走査型磁気顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-178419 出願人：株式会社島津製作所

全件表示

前のページに戻る