特許
J-GLOBAL ID：200903019797837960
微小可動デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104305
公開番号（公開出願番号）：特開2002-301696
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年10月15日
要約：
【要約】【課題】 可動板を成膜製造するに際して必然的に生起する反りを積極的に利用することにより、可動板或いは固定基板の何れか一方に微小突起を形成することその他の格別の工夫をする必要なしに可動板と固定基板との間の貼り付きを防止する微小可動デバイスを提供する。【解決手段】 マイクロマシニング技術で製造され、シリコン基板2と、アンカー部32およびフレクチュア31を介してシリコン基板2に取り付け結合され、シリコン基板2と接合された固定基板1に対して垂直方向に変位する可動板3とを有する微小可動デバイスにおいて、可動板3に反りを形成した微小可動デバイス。
請求項（抜粋）：
マイクロマシニング技術で製造され、シリコン基板と、アンカー部およびフレクチュアを介してシリコン基板に取り付け結合され、シリコン基板と結合された固定基板に対して垂直方向に変位する可動板とを有する微小可動デバイスにおいて、可動板に反りを形成したことを特徴とする微小可動デバイス。
IPC (3件)：
B81C 1/00
, B81B 3/00
, G02B 26/08
B81C 1/00
, B81B 3/00
, G02B 26/08 E
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
