特許
J-GLOBAL ID:200903019896051669

リニアモータ用位置検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-195355
公開番号(公開出願番号):特開2006-020415
出願日: 2004年07月01日
公開日(公表日): 2006年01月19日
要約:
【課題】 リニアモータの位置決め精度を向上する装置を提供する。【解決手段】 固定子20は、表面磁性が異なる2種類のマグネットを直線移動方向に交互で、一定間隔に配列した構造を備える。可動子30は、固定子20に対して一定間隔を維持しつつ、直線方向に移動自在に配置されコイルを備える。可動子30と一体に設けられる検出ヘッド50は、固定子20の磁束を検出して、制御装置60へ送る。固定されたレーザ測長器100は、可動子に設けたターゲット110に対してレーザビームLBを照射し、その反射光から、レーザ測長器とターゲットとの間の距離寸法を高精度に測定する。マグネットスケールとして利用する固定子20の位置と、測定されたレーザ測長器100の高精度の位置データとを比較し、固定子の位置に対応する補正データを算出し、記憶装置70に記憶し、モータの位置決めに利用する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
表面磁性が異なる2種類のマグネットを直線移動方向に交互で一定間隔に配列された固定子と、固定子を構成するマグネットの表面に対して一定間隔を維持し、直線方向に移動自在に配置された可動子であるコイルと、マグネットの磁束を検出する検出器と、該検出器によって位置検出を可能にする位置検出回路と、位置検出回路を補正するためにマグネットスケールとして利用する固定子の位置と、マグネットの配列あるいはマグネット部品そのものの寸法のバラつきを測定する測定装置と、固定子の位置と測定装置との比較する補正データを記憶する記憶装置と、可動子の位置決めを行う場合に予め記憶させた補正データによって検出位置を補正する制御装置とを備えるリニアモータに内蔵するリニアモータ用位置決め装置。
IPC (1件):
H02P 25/06
FI (1件):
H02P7/00 101T
Fターム (7件):
5H540BB02 ,  5H540BB08 ,  5H540DD07 ,  5H540EE02 ,  5H540EE05 ,  5H540FA23 ,  5H540FA24
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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